在硅外延工艺中，三氯氢硅的纯度和质量直接影响外延层的质量和性能。因此，对硅外延用三氯氢硅进行严格的检测是确保硅片质量的关键。
浩瀚色谱利用气相色谱仪对三氯氢硅中的氯硅烷进行了分析检测。灵敏度最高;利用标准物质以及同系物沸点规律对三氯氢硅中的氯硅烷进行了准确定性。
名称：15%DC-550/101白色担体填充柱
规格：3m*1/8，60-80目
zui高使用温度：240°C
应用：工业三氯氢硅的测定
适用于：
安捷伦490在线/便携，4890,5890,6890,7820,7890,8860,8890
岛津GC-14C，GC-2010，GC-2014，GC-2030
赛默飞1310,1300,1610,1600
瓦里安3800系列
布鲁克PE580,590,680,690
磐诺A90，福立GC9790，华爱，天瑞，天美，GC7900，川仪，北分瑞利，东西电子，鲁南瑞虹，捷岛/科晓
In the silicon epitaxial process, the purity and quality of trichlorosilane directly affect the quality and performance of the epitaxial layer. Therefore, strict testing of trichlorosilane for silicon extension is the key to ensuring the quality of silicon wafers.
Haohan Chromatography used gas chromatography to analyze and detect chlorosilanes in trichlorosilane. The highest sensitivity; Accurate qualitative analysis of chlorosilane in trichlorosilane was carried out using standard substances and boiling point rules of homologues.
Name: 15% DC-550/101 white support filling column
Specification: 3m * 1/8, 60-80 mesh
Maximum operating temperature: 240 ° C
Application: Determination of industrial trichlorosilane
Applicable to:
Agilent 490 online/portable, 48905890689088608890
Shimadzu GC-14C, GC-2010, GC-2014, GC-2030
Thermo Fisher Scientific 1310130016101600
Varian 3800 Series
Brooke PE580590680690
Panno A90, Fuli GC9790, Huaai, Tianrui, Tianmei, GC7900， Chuanyi, Beifen Ruili, Dongxi Electronics, Lunan Ruihong, Jiedao/Kexiao
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